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掩模板是根据放大了的原图制备的带有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金属铬薄膜,通过类似照相制版的方法制备而成。具有微纳图形结构的掩模板通常使用电子束光刻机直接制备,其制作过程就是典型的光刻工艺过程,包括金属各层沉积、涂胶、电子束光刻、显影、铬层腐蚀及去胶等过程。
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机显时还要注意以下几点:要定期维护显影机,以---已---的ps版显影能正常进行。在显影之前必须保持各传动辊清洁,若牵引辊不干净,显影时印版易粘上脏点。如显影机有涂胶装置,一定注意胶辊要保持清洁,制版价格,否则要弄脏印版。一般情况下,阳图ps版显影液(原液)的显影能力为10m2/l。上保护胶时,一定要均匀施胶,不能太厚,制版公司,以免干后导致涂层龟裂和掉版。
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光刻板本体的外部边缘增设一保护环,保护环具有多种开孔,以便在保护环处的硅片的边缘处刻出晶粒,将光刻板本体处的硅片保护起来,硅片边缘刻出晶粒后,制版厂家,边缘的不合格情况通过目测可以清楚看出,能有效防止混料情况;利用本实用新型刻出的硅片,在高压测试时,能防止漏电打火,安全性能具有较大提高
绍兴制版-光刻版厂-制版厂家由苏州优版光电有限公司提供。苏州优版光电有限公司(www.szphotomask.com)为客户提供“光电材料,光刻掩膜版”等业务,公司拥有“苏州制版”等品牌,---于光电子、激光仪器等行业。欢迎来电垂询,联系人:马经理。
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