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溅镀法(sputtering):(1)上平行板:装载溅镀金属的靶材;下平行板:作为溅镀对象的玻璃基板。(2)将气(ar 2 )通入反应舱中形成等离子体;离子(ar + )在电场中被加速后冲撞靶材;受冲击的靶材原子会沉积在玻璃基板上从而形成薄膜。
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在容栅电子光学微影技术性中,光罩表层的挡光图样会与基钢板上的光阻层触碰磨擦,制版,非常容易促使挡光图样损耗促使光罩使用期减少。另一个,当施胶光亮阻层的基钢板表层并不是十分整平时,光罩与光阻层会造成不确定性的间隙与间距,而导致光源的光学散射与绕射,从而导致曝i光的规格偏差,而且导致光阻层浅部一部分的侧面曝i光范畴扩张,因此没法制做出深奥长宽比的光阻构造。
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机显时还要注意以下几点:要定期维护显影机,以---已---的ps版显影能正常进行。在显影之前必须保持各传动辊清洁,若牵引辊不干净,显影时印版易粘上脏点。如显影机有涂胶装置,一定注意胶辊要保持清洁,制版报价,否则要弄脏印版。一般情况下,阳图ps版显影液(原液)的显影能力为10m2/l。上保护胶时,一定要均匀施胶,不能太厚,以免干后导致涂层龟裂和掉版。
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