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按石英含量可分为两类:长石石英岩,石英含量大于75%,常含长石及云母等矿物,长石含量一般少于20%。如长石含量增多,则过渡为浅粒岩。石英岩,石英含量大于90%,可含少量云母、长石、磁铁矿等矿物。
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掩膜板是光刻图形的基准和蓝本,掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生---的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。
使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(esd),在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面,将产生的静电导出。另外,不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒,制版,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(mask room),在存取掩膜板时室内保持2人。
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使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,制版厂家,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。
在有---的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。
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