掩膜板-光刻板

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    2020-10-15

马经理
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苏州优版光电有限公司提供掩膜板-光刻板。

公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!

实体结构:布满集成电路图像的铬金属薄膜的石英玻璃片上的图像。倍缩光掩模(reticle):当铬膜玻璃仅能局部覆盖晶圆称为倍缩光掩模,通常图型要放大4倍、5倍或10倍。光掩模(mask):当铬膜玻璃上的图像能覆盖整个晶圆时称之为光罩。












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在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到master maks上,应用到实际---中的为工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask复i制过来。




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业内又称光掩模版、掩膜版,英文名称 mask 或 photomask),材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备---在感光胶上,被---的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似---后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:---,显影,去感光胶,后应用于光蚀刻。






掩膜板-光刻板由苏州优版光电有限公司提供。苏州优版光电有限公司拥有---的服务与产品,不断地受到新老用户及业内人士的肯定和---。我们公司是商盟会员,---页面的商盟图标,可以直接与我们人员对话,愿我们今后的合作愉快!


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