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掩膜板是光刻图形的基准和蓝本，掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生---的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。
使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤，需要轻拿轻放:静电放电(esd)，制版价格，在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面，将产生的静电导出。另外，不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒，在掩膜板盒打开的情况下，不准进出掩膜板室(mask room)，在存取掩膜板时室内保持2人。
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接触光刻技术中使用的掩模的表面特征图案的尺寸与实际掩模的尺寸相同。i在衬底上形成的图案是1∶1，并且以直接接近光致抗蚀剂层表面的方式---i光线；另一方面，缩微技术中使用的掩模具有表面特征图案的实际尺寸。i在衬底上形成的图案的几次通过光学系统投影模式---i光明。
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光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像lcd，pcb等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。
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