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    2020-11-4

马经理
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在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask,也有称为中间掩膜,制版,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到master maks上,制版报价,应用到实际---中的为工作掩膜(working mask),工作掩膜由master mask复i制过来。




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