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光学掩模板的应用
光掩膜用于芯片制造,制版公司,主要是ic(集成电路)芯片,还应用于制作纯平显示器、薄膜磁头以及pc板等。
光掩膜所起的作用类似于底片之于相片,光刻通过光掩膜在芯片上显影。如果图形通过掩膜版在芯片两面多次显影,这种方法就是熟称的---,这个时候的掩膜也可称为光罩。
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使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式---(---波长405nm),照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应
经过显影、定---,---区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层
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光掩膜一般也称光罩,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过---将图形转印到产品基板上。光掩膜主要由两部分组成:基板和不透光材料。
作为半导体、液晶显示器制造过程中转移电路图形“底片”的高精密工具,光掩膜是半导体制程中非常关键的一环。
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