公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,光刻版,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!
在用玻璃标定板标定时候都有遇到过标定板反光问题,有时候不能用背光源,只能用前置光源,光源投射下来,玻璃本身就是反光材料,灯光一亮反光---,甚至导致无法标定板。
光刻掩膜版材质可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和苏打掩膜版为高校和科研院所光刻时所常用的光刻掩膜版。
光刻掩膜版(又称光罩,英文为mask reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过---过程将图形信息转移到产品基片上。
1) 绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件(gds格式)2) 使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式---(---波长405nm),照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应3) 经过显影、定---,---区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层4) 使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。5) 在有---的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高掩膜版以及后期的代加工服务!
业内又称光掩模版、掩膜版,英文名称 mask 或 photomask),材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备---在感光胶上,被---的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似---后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:---,显影,去感光胶,后应用于光蚀刻。
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